Procédés ultra-rapides, technologie robuste et géométriquement évolutive
Encapsulix a développé une technologie ALD robuste qui est géométriquement évolutive du prototype aux applications de production. L’évolutivité va de 200mm à Gen 2 jusqu’à Gen 5.5 et plus.
Excellente uniformité 
L’uniformité est maintenue tout en réduisant la quantité de gaz TMA et en optimisant le coût de procédé.