Innovation dans la technologie ALD
Atomic Layer Deposition (ALD) correspond à la mise en place séquentielle d’ondes de précurseurs de métaux et d’oxygène qui se propagent et qui permettent un niveau de contrôle d’épaisseur de l’ordre de l’angström. L’innovation d’Encapsulix a réduit le temps de cycle et rendu possible de grandes tailles de supports pour ce processus ALD.